
機械的強度と耐磨耗性に優れている。破壊じん性が従来のセラミックスの3、4倍。
断熱効果にも優れている。
用途:セラミックスネジ
断熱用ブロック、ガイドスペーサ
粉砕用ボール、ノズル。
金属とのはめ合い部品、ポンプ部品、反応管など。
3Dスリップキャスト®・機械加工・成形
弊社では最もよく用いるセラミックス材質。
電気絶縁性、耐摩耗性、化学安定性に優れる。耐熱性(1500℃)耐プラズマ性も良好。
用途:セラミックスネジ
精密部品(真空チャック。絶縁リング・ガイド)
定盤(XYテーブル・エアスライダーなど)
3Dスリップキャスト®・機械加工・成形
熱伝導率(90W/m・k)、真空特性、加工特性に優れている。高強度、低い熱膨
張率、電気絶縁性、低い誘電率・誘電損失。AINとBNの複合体である。
用途:真空部品、放熱性、絶縁性を要する各種電気部品。
低熱膨張率を必要とする治具。
機械加工
電気絶縁性に優れている。低価格、短納期での対応が可能。
ガラス質をマトリクスとし、フッ素金雲母・ジルコニア微結晶を均一に析出したもの。
用途:半導体製造装置絶縁材、断熱部品、真空装置部品、熱処理治具など。
機械加工
耐熱性、硬度に優れる。高温下での強度、耐熱衝撃、耐磨耗性に優れる。
用途:熱間ガイド、ローラー、
位置決めピン、ダイキャストのスリーブ、
電気溶接のロケーション、リング、
XYテーブルの位置決め部材、アルミ溶湯ルツボ。
機械加工
高強度で耐熱性、耐摩耗性に優れている。高温構造材料、耐食材料。
高温伝導性、高硬度等の特長、またクリープ抵抗性、耐酸化性も抜群である。
用途:半導体製造装置用プレート、チャック、定盤、フィンガーなど。
耐摩耗用ノズル、メカニカルシール、耐食用反応管、酸処理用治具など。
機械加工